1、機臺采用進口勞士領板材,長期可工作在酸腐蝕環(huán)境,堅固耐用,雙層防漏 。
2、滾筒內(nèi)清洗,用于SIO2原料的清洗工藝。
3、可設計手動全自動運行設計,全自動運行方式采用兩只機械手運行,更有效提高效率降低成本。
4、清洗能力:10-20kg/批
5、全方面的警報提示功能,防呆設計功能。
6、模組化設計,腐蝕槽、純水沖洗槽放置在一個統(tǒng)一的承漏底盤中,底盤 采用滿焊接工藝加工而成,杜絕機臺的滲漏危險。
7、后部排風和下沉式設計,排風區(qū)酸堿隔離,風量可調(diào)節(jié),對操作員有安全 保護。
8、控制部分采用進口品牌PLC 和HMI.
9、設備槽位區(qū)配備 PTFE 材質(zhì) 2 只純水槍和 2 只氮氣槍,方便操作員手工清 洗槽體或工件。
10、設備設計標準按半導體行業(yè)標準(SEMI-S2)執(zhí)行,ISO9001質(zhì)量管理體系進行規(guī)范和保證。
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